上海3D激光干涉仪 上海岱珂机电设备供应

干涉仪技术参数：5D/6D标准型：

1.线性：0.5ppm.

2.测量范围：40米（1D可选80米）

3.线性分辨力：0.001um.

4.偏摆角和俯仰角的精度：（1，上海3D激光干涉仪.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值

5.比较大范围：800角秒

6.滚动角精度：1.0角秒

7.直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值

8.直线度比较大范围：500um

9.垂直度精度：1角秒

10，上海3D激光干涉仪.温度精度：0.2摄氏度

11.湿度精度：5%

12.压力精度：1mmHg从激光器发出的光束，上海3D激光干涉仪，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。 Beamline Fac。需要具有